刻蚀深度比）1:15、PECVDFilmUniformity（薄膜沉积均匀度）±3%、CMPPlanarizationRange（平坦化参数范围）50-100nm。

苏诚看不太懂这些专业术语，但每个术语旁边都被孟哲用红色字体做了详细标注。

光刻分辨率那一栏旁边写着：“90nm节点对应193nm波长光源，需配合相位移掩模技术，此参数与台积电2004年公开的90nm工艺窗口吻合度极高。”

刻蚀深度比旁边写着：“1:15的深宽比在2006年属于第一梯队水平，国内中芯国际当前只能做到1:8左右。”

他越往下翻，嘴角的笑意越深。

这份评估的精细程度说明孟哲看完资料后是认真的。

还有就是孟哲的专业。

看来自己没找错人！

不是随便扫了两眼敷衍几句客气话，而是一个参数一个参数地核对、比对、标注。

每一行红字都透着一个被冷落了多年的技术人员的专业和谨慎。

这个人做过功课。

苏诚把地址发过去，关掉邮件页面，重新打开深圳工业用地的搜索页面。

坪山那个地块旁边又有几个新挂牌的，有一个面积更大，将近三十万平方米，也就是是450亩地大小，价格每平米不到两百八。

还是有些小啊。

一个中型芯片场，要700亩地左右。

万一以后扩大规模，需要更大的地块。

苏诚想要直接搞个1500亩地左右大小的地块，一步步做大。

他正打算再看看的时候，走廊里响起了脚步声。

厚重的军工靴踩在水磨石地面上，每一步都带响，节奏不快，但沉稳有力。

那脚步声苏诚从小听到大。

父亲走路不像那些发了财的煤老板拖泥带水，当兵二十年养成的习惯，迈步的时候脚掌先落地再过渡到脚尖，每一步都踩得扎扎实实，像在走队列。

脚步声到门口停了大概三秒，然后响起了敲门声。

“诚子。”

苏卫国的声音隔着门板传进来，低沉，但中气足。

苏诚抬头：“爸，什么事？”

苏卫国推门进来，站在门口。

他穿着一件深灰色的短袖衬衫，领口敞着